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     NanoX-2000/3000系列 3D干涉輪廓儀

 

     NanoX-2000                                         NanoX-3000

 

        Nano X-2000/3000系列3D干涉輪廓儀采用垂直掃描干涉和移相干涉技術,實現對樣品表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位尺寸及其形貌特征的納米級三維精密測量。廣泛應用于集成電路制程工藝、MEMS、太陽能電池工藝、航空航天、材料表面工程、超精密加工等領域。
       ● 測量精度重復性高
       ● 關鍵硬件采用美國、德國、日本等品牌
       ● 配備進口第三方校準標準件
       ● 高性價比微觀形貌測量設備
       ● 迅捷的售后服務

 

應用領域:

 

國內數家上市企業12寸產線配置NanoX-2000測試設備


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NanoScopy 光機電一體化系統軟件:
       ● 美國硅谷研發、中英文自由切換
       ● 光機電一體化軟硬件集成
       ● 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理
       ● 自主設定測量閾值,三維處理自動標注
       ● 測量模式可根據需求自由切換
       ● 三維圖像支持高清打印
       ● 菜單式參數設置,一鍵式操作,人機界面個性直觀
       ● 個性化軟件應用支持
       ● 可進行軟件在線升級和遠程支持服務

 

中國計量院認證書:

 

滿足您需求而設計的測量設備
覆蓋范圍廣 兼容多種測量和觀察需求
保護性 非接觸式光學干涉測量
可操作性“一鍵式”操作更簡單
智能化特殊形狀智能計算特征參數
個性化 定制化測試報告

更好用戶體驗: 迅捷的售后服務,個性化應用軟件支持

 

 

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